部 件 名
型号、规格、材料
真空室
立式单开门，筒体、法兰材料采用不锈钢制造。真空室冷却。
配观察窗大门两个，方便观察镀膜过程的工作状态。
衬 板
整机配防护不锈钢衬板,方便清洗维护。
工件旋转
系统
采用19轴下工件公自转旋转设计，转速可调转速可调，具有缓冲功能，材料不锈钢。
镀膜系统
真空室左右各配多个多弧钛靶
多弧靶挡板
配多弧电源
偏压清洗系统
配偏压系统
测量系统
采用数显全自动复合真空计测量,电离管加防护罩。
电气控制系统
采用PLC编程器控制。
配人机界面触摸屏,人机界面触摸屏与PLC构成全自动抽真空系统，主要电气元件采用进口品牌。
气路系统
配流量计阀,配电磁节止阀,混合气罐一套。
其 他
配光栅阀，用于调节及恒定抽速，用气动控制开关。
水压失压，气体失压，自动报警，电气互锁保护。
架空线槽
冷板压成，布线整齐，美观，安全。
按净化要求
设计
真空室与机组留空气净化间隔空间。
放气阀
空气经过过滤，保证工件不受污染，加消声器。
抽 速
从大气到8×10-3Pa≤15分钟(洁净空载)
极限真空
优于6×10－4pa(洁净空载)
备注：此套参数仅供参考，如有具体定制需求请联系我们
