板材防指纹镀膜机-装饰功能镀膜设备-广东振华科技股份有限公司

真空室內尺寸： 

φ3100×2000mm（SUS304不锈钢）

外形尺寸：

约 12000×8000×4100mm（L×W×H）

设备占地面积：

约96平方米

行星工件盘尺寸：

配Ф2450公转架二个，或公自转为10轴Ф550

极限真空度：

6×10-4 Pa（空载、洁净）

腔室加热温度：

50℃ ~ 300℃连续可调 

抽气速率：

空载大气到8×10-3Pa抽气时间小于或等于15分钟

保压率：

1h≤0.6pa

充气系统：

采用四路气体流量控制

镀膜系统：

多弧靶，直流靶，中频靶

清洗电源：

偏压脉冲，中频高压离子电源

镀膜电源：

多弧电源、直流电源、中频电源

工件架转速：

0～10r/min（变频器匀速控制)

控制系统：

触摸屏+PLC控制