高纯(SiO2≥99.997)石英砂,标准适用于以天然石英矿物为原料,经酸浸、煅烧、水淬、烘干、粉碎、筛分、提纯、色选、磁选等工序加工而成的石英砂。产品按二氧化硅的含量分为一级、二级、三级。并对产品技术指标做了如下要求。
石英砂产品指标
国家标准GB/T32649-2016光伏用高纯石英砂于2016年11月1日开始实施,标准适用于光伏用高纯石英砂,产品用于多晶硅、单晶硅光伏生产用的扩散管、承载器及电弧法坩埚等石英制品。该标准从外观、粒度、二氧化硅含量、杂质元素含量等方面作出了如下技术要求。
光伏用高纯石英砂技术要求
行业标准SJ/T3328-2016电子产品用高纯石英砂标准中规定了电子产品的技术条件、分析方法通则、灼烧矢量的测定、二氧化硅的测定、铁的测定、铜的测定、铬的测定、铝的测定以及铅的测定。
其中,SJ/T3328.1-2016电子产品用高纯石英砂第1部分技术条件适用于电子产品用高纯石英砂,可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚等器件。
技术要求如下:
外观:电子产品用高纯石英砂为具有一定透明度的白色颗粒,应无异色、肉眼可见的杂质。
二氧化硅含量:应符合表1规定。
表1 二氧化硅含量
粒度:粒径应在70μm~350μm。
杂质元素含量:应符合表2规定。
表2 杂质元素含量