广州EDS成分测试 SEM微观形貌测试

广州EDS成分测试 SEM微观形貌测试 

扫描电镜是一个可以提供微观形貌，结构，成分分析的高分辨率电镜。电子束和样品相互作用，产生二次电子，背散射电子，

能谱特征X射线，背散射衍射信号，荧光信号等多种电子信号，通过相应检测器，检测到对应信号我们便可以获得样品的形貌、结构，成分分析等相关信息

扫描电镜的特点:

1.理论分辨率较高，实际拍摄结合到具体样品，我们认为10nm以下尺寸的结构，建议用透射电镜来做。

2.扫描-EDS的空间分辨率我们认为实际应用中，一般是1um以上，如果想要分析的颗粒尺寸低于这个尺寸，建议用透射-EDS.

3.制样简单，只要干燥即可，还要求导电性好，不过可以通过喷金进行改善。

4.测试效果Zui接近人眼直接观看的效果，立体感较强，只能看到表面信息，看不到样品内部信息。

4.由于样品经过干燥，固定，喷金或者切割等步骤，以及实际拍摄时选择的电压，模式等参数，在进行尺寸测量以及图片分析的时候，切记一定要谨慎分析，勿引入假象。