随着电子工业、微电子工业的飞速发展对电子级水的质量要求越发严格。国家由此重新制定了标准，
GB/T 11446.1-2013,适用于电子元器件生产和清洗用水。
纯化水为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
| 检测项目 | 检测参数 | 检测标准 |
（超）纯水 电子级水 （一级水） | 电导率、酸碱度、氨、汞、铁、镍、锰、铜、钠、钾、钙、铝、氯离子、硫酸盐、硝酸盐、粒子数、总有机碳等 | GB/T11446.1-2013 电子级水 |
| 纯化水 | 酸碱度、硝酸盐、亚硝酸盐、氨、电导率、易氧化物、不挥发物、重金属、微生物限度、总有机碳、性状等 | GB/T11446.6-1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 |