产品介绍
工作原理:单颗粒光学传感技术(Single ParticleOptical Sizing,SPOS)
检测范围: 0.5 μm – 400 μm
AccuSizer 780 A7000AD多功能自动计数粒度仪集自动稀释、自动检测、数据处理以及自动清洗等全自动检测功能于一身,为用户提供可方便、快捷、高效、可靠的粒径分析。其搭载的LE系列传感器采用Zui先进的光阻法+光散法单颗粒光学传感技术(SPOS),拥有512通道的超高分辨率,其搭配的自动稀释的机制,可真实的对大量粒子样本进行粒径测试并计数,Zui高样品浓度达到109#/ml,粒径检测范围0.5μm–400 μm。
独立试验显示AD在电化学抛光法(CMP)过程所使用的磨料浆(slurry)中对大颗粒的检测要比传统的激光散射法其灵敏度要高1,500到25,000倍。同样,此款仪器可以应用在墨水、颜料、色素、药物乳剂等行业,这些应用中极少的“尾部”;大颗粒是判断一个产品成功或者失败的重要标准。
技术优势
1、检测范围广0.5μm-400μm;
2、高分辨率,高灵敏性,统计精度高;
3、粒子灵敏度 ≤10PPT
4、粒径准确度 ≥98%
5、粒子计数准确度 ≥90%
6、现场校准,无需返厂;
7、模块化设计,便于升级及维护;
8、512通道,不放过任何细微颗粒;
9、符合美国药典USP,中国药典CP,CE等要求;
10、集自动检测、数据处理以及自动清洗等自动化功能与一身;
应用领域
化学机械抛光液(CMPSLURRY)
化学机械抛光是半导体制造加工过程中的重要步骤。化学机械抛光液是由腐蚀性的化学组分和磨料(通常是氧化铝、二氧化硅或氧化铈)两部分组成。抛光过程很大程度上取决于晶片表面构型。晶片的加工误差通常以埃计,对晶片质量至关重要。抛光液粒度越均匀、不聚集成胶则越有利于化学机械抛光加工过程的顺利进行。
墨水
随着打印机技术的不断发展,打印机用的墨水变得越来越重要。喷墨打印机墨水的粒度应当控制在一定的尺度以下,且分布均匀,大的颗粒易于堵塞打印头并影响打印质量。墨水是通过研磨方法制得的,可用粒度检测分析仪器设备监测其研磨加工过程,以保证墨水的颗粒粒度分布均匀,避免产生聚集的大颗粒。