广州哪里能检测纯水？纯水二氧化硅检测

标准基本信息

• 标准名称： 《GB/T 11446.7-2013 电子级水试验方法》

• 英文名称： Test methods for electronic grade water

• 发布与实施日期： 2013年12月31日发布，2014年8月1日正式实施。

• 替代标准： 替代了之前的 GB/T 11446.7-1997。

• 标准状态： 现行有效。

标准核心内容概述

GB/T 11446.7-2013 是 GB/T 11446《电子级水》系列标准的一部分。该系列标准规定了电子级水的等级、规格、取样和具体的试验方法。

• GB/T 11446.1 定义了电子级水的等级（如EW-I， EW-II， EW-III）和通用要求。

• GB/T 11446.7-2013 则专门详细规定了如何检测和测量电子级水的各项关键指标。

简单来说，GB/T 11446.1 告诉你“标准是什么”，而 GB/T 11446.7-2013 告诉你“怎么去测”。

主要检测项目和方法

该标准涵盖了电子级水几乎所有关键参数的检测方法，主要包括：

1. 电阻率：

• 重要性： 衡量水中离子含量的Zui主要指标。离子越少，电阻率越高，水的纯度越高。

• 方法： 使用在线或离线电阻率仪进行测量。

1. 总有机碳（TOC）：

• 重要性： 衡量水中有机物污染的总量。

• 方法： 通常采用紫外氧化-电导率检测法或类似原理的仪器。

1. 颗粒物：

• 重要性： 衡量水中不溶性微粒的数量和大小，对芯片制造至关重要。

• 方法： 使用光阻法或激光粒子计数器。

1. 溶解二氧化硅：

• 重要性： 硅是半导体行业的基础材料，但水中的溶解硅可能造成污染。

• 方法： 通常使用钼蓝分光光度法或原子吸收光谱法。

1. 金属阳离子（如 Na， K， Ca， Fe， Cu， Zn 等）：

• 重要性： 金属离子是主要的导电杂质，会严重影响集成电路的性能。

• 方法： 主要使用石墨炉原子吸收光谱法（GFAAS） 和电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）。ICP-MS因其极高的灵敏度而成为EW-I级超纯水检测的方法。

1. 阴离子（如 Cl⁻， NO₃⁻， SO₄²⁻ 等）：

• 重要性： 某些阴离子具有腐蚀性，会损坏微电子元件。

• 方法： 使用离子色谱法。

1. 微生物（细菌）：

• 重要性： 微生物及其代谢产物会造成污染和生物膜。

• 方法： 采用膜过滤法，培养后计数。

1. 可溶性气体（如溶解氧）：

• 方法： 使用专用的溶解氧检测仪。