气体的纯度是一个重要的参数，如氧气、氮气。仅氮气的纯度就可分为三个等级，分别为工业用氮气、纯氮气和高纯度氮气等级3，其纯度分别为99.5%（O2纯度0.5%）、99.99%（O2浓度99.999%（0.01%）和大于0.001%O2）。

99.999%纯度的氮气纯度p国外（进口价格高），国内和国际同行目前普遍采用PSA制氮技术只能生产纯度为99.9%的氮气（O2浓度为0.1%），单个企业可以生产99.99%纯度的氮气（氧气浓度为0.01%），PSA的高纯度制氮技术是可能的，但生产成本太高，用户很难接受，使用低温制氮技术制备高纯度氮气也必须添加后级净化装置。

氮气应用区别：

由于其惰性，气态氮可用于各种吹扫、覆盖和冲洗操作。根据所涉及的工艺类型，需要不同等级的氮气纯度以满足独特的制造需求。

纯氮N2 应用举例 99.99化学工业，冶金，电子工业。

高纯氮N2 应用举例，电子，机械99.999科学研究。高纯度氮气主要适用于精密仪器。

其他杂质浓度等级不同

除了氮气浓度区别之外，其他气体：氧气，氩气，氢气，一氧化碳，二氧化碳，甲烷和水的含量。