产品简介：MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司的MEMS流量传感器芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和得以大幅度提升。时域流量传感技术还提供了线性度，并使用度效应大幅降低。
MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000系列气体质量流量计测量范围覆盖（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,该流量计工作压力提高到0.8MPa，MF3000系列气体质量流量计提供多种信号输出，通过RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000系列气体质量流量计具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或者查询流量计的参数。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
产品特点：
质量流量，时域传感技术
全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM
全量程优良的重复性
可测量多种气体不需要修正
多种输出信号可选
支持多种连接方式，易于安装与使用
工作原理
MF3000系列气体质量流量计是基于铭鸿仪表公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳定的温度场分布。MEMS芯片上温度传感器将测量到具体的温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变化不同，能测量气体的质量流量。
技术参数：
流量范围：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500SLPM
量程比：50：1
精度：±（2.5+0.5FS）%
重复性：1.0%
零点稳定度：±30MV
输出漂移：±0.12%/℃
响应时间10MS
工作电源：8-24VDC,50MA
信号输出1：RS485或I²C
信号输出2/3：模拟电流4-20mA/模拟电压：1-5VDC/NPN/PNP
显示方式：4位4段LED数码管，2个指示灯
显示单位：瞬时流量：SLPM;累积流量：SL或Nm³
显示分辨率：瞬时流量：0.01SLPM,累积流量：0.1SL或0.01Nm³
工作压力：0.8MPa
工作温度：-10～+55℃
储存温度：-20～+65℃
工作湿度：<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口：BSRT1/4外螺纹 4、6、8MM快速接头 或8mmL型接头 BSPT1/2内螺纹
按键：三个按键
校准方式：空气（20℃，101.32kPa）
电气接品：6针插座，广濑：DF51K-6P-2DS
符合性：RoHS,REACH
备注：1.为了流量计的测量精度，使用前需要预热一分钟
2. 传感器默认为空气校准，测量 其它气体时，精度会有所下隆
3. 默认响应时间这10MS可通过修改滤波调慢响应时间。
4. 以上参数在为20℃101.325kPa下测得。
输出引线定义：
1、红色：信号输出3：NPN/PNP
2、灰色：信号输出2：模拟电流4-20mA/模拟电压1-5VDC/PNP/NPN
3、蓝色:GND电源/信号地（-）
4、棕色：VCC电源正8-24VDC（+）
5、黑色：RS485A(+)I²C时钟线（SCL）
6、白色：RS485B(-）I²C数据线(SDA）
流量计的电气接口为DF51K-6P-2DS（广濑），出厂时带一型号为DF51K6-100的配线，长度为100CM，一端为插头DF51K-6S-2C(与DF51K-6P-2DS配套连接)另一端散口。
