项目简介
XPS，全称为X-ray PhotoelectronSpectroscopy（X射线光电子能谱），早期也被称为ESCA(Electron Spectroscopy forChemicalAnalysis)，是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。
XPS可用于定性分析以及半定量分析,一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。
1. X射线光电子能谱（XPS）可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息；
2. X射线光电子能谱（XPS）按元素个数收费（需要包含必测元素C，不能测试H、He元素）；一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素；一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置；
3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；
4. 测试默认单色化Al靶（Al Kαsource），能量1486.68eV；
常见项目
X射线光电子能谱（XPS）
微区XPS测试：除了材料的体相成分信息外，许多研究会关注材料表面深度约1μm以内的微区结构和成分信息。
XPS深度剖析：可测试元素沿样品深度上的含量变化。