单晶材料表面缺陷 物理性能测试

单晶材料分为天然晶体和人工晶体，随着技术的发展，目前天然晶体已经不能满足人们的需求，于是各种人工单晶材料就被相继开发出来。单晶材料被广泛用于电子工业、半导体工业、光学工业、机械加工业、钟表行业、超声及压电技术等领域。单晶材料检测在这些行业的原材料采购中是必不可少的一个环节。

一、硅单晶检测

硅单晶检测标准可以依据GB/T 12962-2015《硅单晶》。GB/T12962-2015规定的硅单晶检测项目主要有直径及允许偏差、导电类型、电阻率测定、径向电阻率变化、载流子寿命测量、微区电阻率条纹、晶向及晶向偏离度、参考面取向、参考面长度、切口尺寸、氧含量、碳含量、晶体完整性检验、体金属（铁）含量等。硅单晶还可以进行牌号鉴定。

二、砷化镓单晶检测

砷化镓单晶检测依据标准为GB/T20228-2006《砷化镓单晶》。砷化镓单晶检测项目主要有导电类型评定、载流子浓度、掺杂剂、电阻率、室温霍尔迁移率、单晶晶向测定、单晶位错密度测定、外形尺寸及厚度测定。砷化镓单晶还可以进行牌号鉴定。

三、磷化镓单晶检测

磷化镓单晶检测依据标准为GB/T20229-2006《磷化镓单晶》。磷化镓单晶检测项目主要有牌号鉴定、导电类型评定、掺杂剂检测、载流子浓度检测、迁移率检测、电阻率测量、晶向测定、直径测定、表面缺陷评定、位错密度测定、晶体厚度及厚度变化测定、几何参数等等。

四、磷化铟单晶检测

磷化铟单晶检测的依据标准为GB/T20230-2006《磷化铟单晶》。磷化铟单晶检测项目主要有牌号鉴定、导电类型评定、电阻率、迁移率、载流子浓度、晶向、位错密度、几何参数、表面缺陷、电学参数、晶向测定等等