广东省inficon真空计控制器方案「在线咨询」

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什么叫真空计校准装置？

大家都知道，不一样建设和工业化生产的设备应用条件是不一样的，例如载人航天器在空间、四轴在高处、战略核潜艇在海底……这种商品的研发实验都离不了真空自然环境。真空环境标准模拟是不是真正、及时？就必须真空计充分发挥。殊不知，这种真空计数据测试否准确，就必须用人们的“直尺”——真空计校准装置来量一量，才可以确保真空计准确测量效果的准确靠谱。

携带式真空计校准装置项目负责人详细介绍，真空计一般全是使用在真空环境监控系统实验装置上，这种装置可全是“大家”，依照传统的的计量检定校准方式，必须将上边应用的各种真空计卸下来送至试验室开展按时校准，不但提升了拆卸的劳动量，运送环节中还存有受损的风险性。真空计经常拆卸变成危害实验生产制造进展的主要要素之一。

为了确保真空计在各种安全商品的科学研究实验生产制造当场中的灵便计量检定，很多年来，真空事业部研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，取得成功研发了携带式真空计校准装置。该装置解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了真空计线上校准，inficon真空计控制器方案，确保了实验生产制造每日任务不断合理开展。

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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。

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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下以下公式成立：式中Q———单位时间灯丝放出的热量；R———灯丝的电阻；I———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；Λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；T———灯丝温度；T0———金属圆筒的温度；p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中S是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

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