EDS(Energy DispersiveSpectrometer)是电子显微镜(扫描电镜、透射电镜)的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析。
检测项目
定性分析
EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步，即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类，Zui后定量分析的精度就毫无意义。通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分，但对于确定次要或微量元素，只有认真地处理谱线干扰、失真和每个元素的谱线系等问题，才能做到准确无误。定性分析又分为自动定性分析和手动定性分析，其中自动定性分析是根据能量位置来确定峰位，直接单击“操作/定性分析”按钮，即可在谱的每个峰位置显示出相应的元素符号。自动定性分析识别速度快，但由于谱峰重叠干扰严重，会产生一定的误差。
定量分析
定量分析是通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算成浓度比。Zui广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。
元素的面分布分析
在多数情况下是将电子束只打到试样的某一点上，得到这一点的X射线谱和成分含量，称为点分析方法。在近代的新型SEM中，大多可以获得样品某一区域的不同成分分布状态，即：用扫描观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量其特征X射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来，就得到特征X射线强度的二维分布的像。这种分析方法称为元素的面分布分析方法，它是一种测量元素二维分布非常方便的方法。
检测标准
GB/T 115 -2015高纯锗γ能谱分析通用方法
GB/T 11743-2013土壤中放射性核素的γ能谱分析方法
GB/T 16140-2018水中放射性核素的γ能谱分析方法
GB/T 16141-1995放射性核素的α能谱分析方法
GB/T 16145-1995生物样品中放射性核素的γ能谱分析方法
GB/T 17362-2008黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
GB/T 17507-2008透射电子显微镜X射线能谱分析生物薄标样的通用技术条件
GB/T 19500-2004X一射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则
NY/T 2652-2014农产品中137Cs的测定 无源效率刻度γ能谱分析法