真空泵油是真空获得设备专用的润滑油。它是真空泵的重要材料之一，油品质量直接影响设备达到的极限压力、抽气速率背压和返油率等。在真空泵中，真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。根据油品在使用过程的工作状况，真空泵油可分为机械真空泵油、蒸汽喷射泵油、真空密封油等。
真空泵油的性能要求
(1)极低的蒸气压这是真空泵油的重要的性能。由于真空泵要求真空度达到1.33x10Pa以下，要求真空泵油的蒸发性极低。一般真空泵油用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。饱和蒸气压要低于泵铭牌上所标的极限压强。
(2)黏度和黏温特性真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的黏度和黏温特性。
(3)热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低。要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
(4)抗腐蚀性真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应腐蚀泵内零件。另一方面，吸入的空气中往往含有水汽冷凝水，会引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀。要求油品具有良好的抗腐蚀性和抗乳化性。
（5）抗乳化性 真空泵在运转过程中，系统内水分及冷气
体会排人泵油中，油与水会形成乳浊液，不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。尤其对医药、食品、陶瓷等工业应用真空干燥的过程中，真空泵油抗乳化性更重要。抗乳化性好，泵油油水分离能力强，水蒸气与冷凝气体通过针阀排出。
(6)闪点不仅应从易燃安全性方面考虑，而主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
(7)水分离性能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。
真空泵油石化行业标准（SH/T0528-1994）
黏度等级
运动黏度(40℃)/(mm/)
黏度指数
闪点(开口)/℃
倾点/℃
酸值(以KOH计)/(mg/g)
色度/号
残炭(质量分数)(%)
水分(质量分数)(%)
水溶性酸或碱
机械杂质
腐蚀试验(铜片，100℃，3h)
泡沫性(泡沫倾向/稳定)/(mL/mL
极限压力(60℃)/kPa
分压全压
