FS4001系列气体质量流量传感器 美国Siargo
FS4001质量流量传感器使用siargo专有的MEMS流量传感器与封装技术。该传感器的测量范围是0~30 sccm到0 ~ 1000 sccm。每个模型的流量是通过专门设计的封装,以及智能电子产品,以便达到适宜的灵敏度。
该包装盒是由化学惰性和热稳定的聚碳酸酯材料制成的。压力等级较高是5BAR(73PSI),受益于siargo独特的MEMS芯片结构、特殊包装技术和坚固耐用的传感器外壳。
FS4001可用于广泛的应用范围包括仪器(如气相色谱质谱法)、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用。FS4001需要8 ~24 VDC电源提供一个模拟和/或数字用户接口。模拟输出是线性的从0.5到4.5VDC从0到满刻度流量相应。数字输出是通过RS232传输。RS232通信协议可以在本手册中找到。
FS4001气体质量流量传感器主要特性:
1)传感器灵敏度高,有极小的始动流量
2)传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
3)在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
4)传感器的零点稳定度高
5)全量程高稳定性
6)全量程高度和优良的重复性
7)低功耗
8)低压损
9)响应时间快