电子级水是电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法
GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
检测项目:
电阻率检测,痕量金属元素检测,二氧化硅检测,总有机碳,细菌总数等。
1、范围
GB/T 11446.1-2013 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。
2、水质标准
项目 | 技术指标 | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
电阻率(25℃)/ MΩ·cm | ≥18 (5%时间不低于17) | ≥15 (5%时间不低于13) | ≥12 | ≥0.5 | |
全硅/(μg/L) | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒数/ (个/L) | 0.05μm~0.1μm | 500 | - | ||
0.1μm~0.2μm | 300 | ||||
0.2μm~0.3μm | 50 | ||||
0.3μm~0.5μm | 20 | ||||
>0.5μm | 4 | ||||
细菌个数/(个/mL) | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤100 | ||
铜/(μg/L) | ≤0.2 | ≤1 | ≤500 | ||
锌/(μg/L) | ≤5 | ||||
镍/(μg/L) | |||||
钠/(μg/L) | ≤0.5 | ||||
钾/(μg/L) | |||||
铁/(μg/L) | |||||
铅/(μg/L) | |||||
氟/(μg/L) | |||||
氯/(μg/L) | |||||
亚硝酸根/(μg/L) | |||||
溴/(μg/L) | |||||
硝酸根/(μg/L) | |||||
磷酸根/(μg/L) |