AF真空镀膜机镀膜原理
AF真空镀膜机镀膜原理:减反射膜又称增透膜,它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等学表面的反射光,从而增加这些元件的透光量,减少或消除系统的杂散光。减反射膜是以光的波动性和干涉现象为基础的。二个振幅相同,波长相同的光波叠加,那么光波的振幅增强;如果二个光波原由相同,波程相差,如果这二个光波叠加,那么互相抵消了。减反射膜就是利用了这个原理,在镜片的表面镀上减反射膜(AR-coating),使得膜层前后表面产生的反射光互相干扰,从而抵消了反射光,达到减反射的效果。简单的增透膜是单层膜。一般情况下,采用单层增透膜很难达到理想的增透效果,为了在单波长实现零反射,或在较宽的光谱区达到好的增透效果,往往采用双层、三层甚至更多层数的减反射膜。减反射膜的实际应用非常广泛,Zui常见的是镜片及太阳能电池-通过制备减反射膜来提高光伏组件的功率瓦值。目前晶体硅光伏电池使用的减反射膜材料是氮化硅,采用等离子增强化学气相淀积技术,使氨气离子化,沉积在硅片的表面,具有较高的折射率,能起到较好的减反射效果。早期的光伏电池采用二氧化硅和二氧化钛膜作为减反射层。
什么是光学镀膜:
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。
光学镀膜原理:真空镀膜真空镀膜:真空镀膜主要是指需要在更高真空下进行的涂料,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等多种涂料,所以。蒸发和溅射有两种主要类型。将被镀材料制成基材,将电镀材料用作靶材或药材。衬底处于与靶相同的真空中。
蒸发涂层通常是加热目标,以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发,并通过成膜方法(散射岛结构-梯形结构-层状生长)沉积在基材的表面上,薄膜。
对于溅射状涂层,很容易理解目标材料是用电子或高能激光器轰击的,表面组分以自由基或离子的形式溅射,Zui后沉积在基底表面上Zui终形成一部薄膜。
常见的光学镀膜材料有以下几种:
1、二氧化硅材料特点:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好,不出现崩点。按使用要求分为紫外、红外及可见光用。
2、氧化锆材料特点白色重质结晶态,具有高的折射率和耐高温性能,化学性质稳定,纯度高,用其制备高质量氧化锆镀膜,不出崩点。
真空镀膜机泵有哪几种类型
很多人对真空镀膜机很了解,对真空镀膜机泵却接触很少,也不知道真空镀膜机泵到底有啥作用,分那几类,下面为大家详细介绍一下,真空镀膜机泵有几大类,它们各自原理是怎样的。真空镀膜机有三个泵的:机械泵(一般是油旋转泵),增压泵又叫罗茨泵,高真空泵(扩散泵或者分子泵)。
机械泵是从大气开始工作的,机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。
增压泵,它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。
油扩散泵,机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。